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深紫外DUV真空兼容波片

有257nm 和266nm 的深紫外波段的波片可供选择
适用于真空兼容的应用场景
安装部件未经阳极氧化，产品构造未使用胶粘剂

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深紫外真空兼容波片安装在未经阳极化的铝制外壳中，具有无粘合剂结构，可减少真空环境中的气体泄漏。这些波片针对257nm或266nm的设计波长进行优化，透射率高于99.8%，并提供λ/2或λ/4延迟的选项。这些波片具有优越的延迟容限和零级构造，以及大带宽和低温敏特性。” 深紫外真空兼容拨片在安装部件边缘标有快轴慢轴，方便识别和系统集成。这些波片适用于生命科学和光刻微影应用等需要真空环境的场景。

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